三星电子和海力士正将“替代日本氟化氢”提上日程

据韩媒BusinessKorea报导，三星电子部分半导体制程中，已将日制氟化氢的替代品投入部分制程中。

三星电子在通过引进大陆、台湾的原料，并制成半导体制程用材料，并在上个月中旬开始投入部分制程。据业界人士透露，三星电子依照测试完成产品顺序，量产后投入制程。

日本自7月加强对韩出口限制，氟化氢、氟化聚酰亚胺、光刻胶皆被列入出口管制类别，导致三星电子未来引进Stella Chemifa、森田化学等日本企业的产品恐受阻，因此三星电子携手韩国企业SoulBrain、ENF TECHNOLOGY，合力制造替代品。

过去这两家企业主要从日本Stella Chemifa、森田化学进口氟化氢，提炼蚀刻液体后，再交予三星电子，因此拥有一定的技术能力。

三星电子发言人表示，“我们正在开始在公司一些制造工艺和产品中使用非日本产的氟化氢，因为使用化合物即将从不太敏感的工艺演变到更敏感的工艺阶段。”

另一家韩国企业SK海力士也正在加快自制氟化氢的脚步。报道指出，SK海力士取得相当数量的替代材料。过去提供SK海力士氟化氢的韩国企业RAM TECHNOLOGY表示，其已提供SK海力士数百吨的原料。

业界人士预测，到月底韩国将制造完一批氟化氢，且能够替代日制产品，未来SoulBrain工厂扩建完工后，将能提供更多氟化氢给三星电子、SK海力士。